PMMA 聚甲基丙烯酸甲酯

PMMA 聚甲基丙烯酸甲酯是微电子领域的重要材料。PMMA是一种用途广泛的聚合物，适用于多种成像和非成像微电子应用。它常被用作电子束直写、X射线和深紫外光刻工艺中的高分辨率正性光刻胶，也可用作晶圆减薄的保护涂层、键合粘合剂以及牺牲层。

标准PMMA产品膜厚范围广，由分子量为495,000和950,000的树脂，搭配氯苯或更安全的苯甲醚溶剂制成。还可根据需求提供分子量在50,000 - 220万的定制产品。此外，共聚物（MMA (8.5) MAA）产品使用更安全的乳酸乙酯溶剂配制。产品包装规格从500毫升到20升不等。

在使用时，需遵循特定的加工指南。首先，要确保基板清洁干燥，常用且推荐的清洁方式有溶剂清洗、氧气等离子体清洗和臭氧清洗 。涂覆时，可参考薄膜厚度与自旋速度曲线选择合适的PMMA稀释度和自旋速度。不同产品的预烘烤、曝光、显影、后烘烤（可选）等环节都有对应的温度、时间、剂量等参数要求。显影后，要用1:3或1:4的甲基异丁基酮（MIBK）与异丙醇（IPA）混合液、酒精或去离子水进行冲洗和干燥，以终止显影过程并防止产生浮渣。PMMA和共聚物抗蚀剂可以使用MCC的Remover PG或标准洁净室溶剂去除 。

操作过程中，要注意安全。由于PMMA溶液易燃，应避免接触眼睛、皮肤和衣物，在通风良好的环境下使用，避免吸入烟雾，操作时需佩戴化学防护眼镜、手套。该产品与玻璃、陶瓷等多种材料兼容，但氯苯会腐蚀部分弹性体和塑料，建议使用VITON A材质的O型圈和 tubing。储存时，应将产品直立放置在干燥区域，温度保持在10 - 27°C，避免冷藏，远离火源、光线、热源、氧化剂、酸和还原剂。

PMMA 聚甲基丙烯酸甲酯