PMMA 聚甲基丙烯酸甲酯 是一种用途广泛的聚合物，适用于多种成像和非成像微电子应用。它常被用作电子束直写、X 射线和深紫外光刻工艺中的高分辨率正性光刻胶，也可用作晶圆减薄的保护涂层、键合粘合剂以及牺牲层。